기본정보
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기술명: 영역-선택적 원자층 증착법을 이용한 박막의 선택적 증착방법 및 박막이 선택적으로 형성된 기판
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발명자: 신소재공학과 이한보람 교수
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출원번호: 10-2023-0034369
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